不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔

本產品在結構上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統、洗滌系統和清渣系統組成。在進氣方面采用壓縮空氣加新風進氣口雙進風形式，提高產品運行效率和可靠性。在噴淋系統方面，采用循環水泵與自動補水相結合的方法，風機采用一用一備形式，這些工藝特點使得本產品在安全可靠性方面得到極大保證。內部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時配備了氮氣入口，更加大了設備的安全性。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。

本產品采用優質不銹鋼原料進行制造，根據硅烷與空氣接觸而自燃的特點，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過填料層再進入燃燒塔噴淋室，經過噴霧處理，使廢氣與中和循環液接觸反應，然后進入脫液器脫液處理后由抽風機排入大氣。

控制系統及注意事項：

1. 不銹鋼硅烷燃燒凈化塔必須保證負壓200Pa左右。

2. PECVD設備真空泵后面必須加裝應急燃燒筒。

3. 不銹鋼硅烷燃燒凈化塔必須采用新工藝，雙風機抽風，一用一備。

4. 風機進風口的電動調節閥必須與風機聯動。

5. 風機進風口前必須加裝碟閥，以控制硅烷燃燒凈化裝置內負壓。

6. 硅烷燃燒凈化裝置新風補風口必須加裝調節閥。

7. 進氣管接口外1～1.5米處必須由可以拆裝的連接口，以防清除燃燒箱雜物而可以拆除。